株洲金瑞中高頻設備有限公司

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化學氣相沉積爐應用領域

化學氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。

化學氣相沉積爐產品規格

產品型號/規格W×H×L(mm)	6006001000	8008001200	100010001500	120012002500	150015003000	250020003600
裝載重量(KG)	350	800	1500	2500	5000	10000
最高溫度(℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性(℃)	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
加熱功率(kw)	250	360	480	600	900	1200
極限真空度(Pa)	20	20	20	20	20	20
壓升率(Pa/h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協議為準。

化學氣相沉積爐主要配置

u 爐門︰絲杠升降//液壓升降/手動升降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

u 爐殼︰全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

u 爐膽︰軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC

u 加熱器︰等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

u 工藝氣路系統︰體積/質量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產

u 真空泵和真空計---進口/國產

u PLC︰歐姆龍/西門子

u 控溫儀表︰日本島電/英國歐陸

u 熱電偶︰C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

u 記錄儀︰無紙記錄儀/有紙記錄儀；進口/國產

u 人機界面︰模擬屏/觸摸屏/工控機

u 電器元件︰正泰/施耐德/西門子

u 料車︰滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車

化學氣相沉積爐技術特征

n 本化學氣相沉積爐最大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；

n 本化學氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；

n 本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

n 本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

n 本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。